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800F高真空多层光学镀膜机系列



BLLVAC-800F继承高性能、高产量的特点与以往机型相比实现了更高的性价比,节电50%。

常规配置

真空系统

低真空泵:2X-70(选择:进口SV300,E2M17/275)

增压泵:ZJP300(选择:进口WAU2001,EH1200/EH2600)

高真空泵:涡轮分子泵(选择:低温泵,扩散泵或进口磁悬浮)

真空阀系统

-型号40,50,150,550

真空室加热系统

-最高温度:0到400℃

-型号:不锈钢管装加热器(选择:卤素灯管)

基片架盘型号:

-球面型(选择:平面型,3公自转,多行星型)

-转速:0到30转数/分

软启,软停,可调速

电器控制系统:

-触膜屏面板和PLC控制

-可修改和改变重要的参数

-全程自动控制镀膜以达到最终产品所需要求

VAC系统

-进口低高真空感应器:1

MFC系统

-进口质量流量控制器:1

-进口电磁阀:1

APC系统

-进口质量流量控制器:1

-进口电磁阀:1

镀膜沉积控制系统

-晶控控制:美国产IC-6,

XTC-3S/M,INFICON310。

-石英晶体感应器:1,2,6头

光控控制

-国产光控(或英国inteiiemetrics)

离子源

-霍儿源(或考夫曼,RF源)

电子束源

-容量:15cc,25cc,40cc等等

-偏转角度:180°或270°

-坩埚:4,6,8,12,16,2+1,6+1个等

深冷系统

-真空室麦斯纳阱

-扩散泵冷阱


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